<?xml version="1.0" encoding="utf-8"?><!DOCTYPE Zthes SYSTEM "http://zthes.z3950.org/xml/zthes-05.dtd">  <Zthes><term><termId>9837291</termId><termName>deposició en capa atòmica</termName><termType>PT</termType><termNote><![CDATA[ <p>Tècnica en fase de vapor per dipositar una pel·lícula sobre una superfície en monocapes utilitzant una reacció química autolimitada i que permet produir pel·lícules primes de diversos materials.</p> ]]></termNote><termCreatedDate>2026-03-30 20:32:09</termCreatedDate><relation><relationType>BT</relationType><termId>9828473</termId><termName>revestiment</termName><termType>PT</termType></relation></term>  </Zthes>